MEMSのはなし

Author(s)

• 前田, 龍太郎 マエダ, リュウタロウ
• 池原, 毅 イケハラ, ツヨシ
• 小林, 健 (機械工学) コバヤシ, タケシ
• 単, 学伝 タン, ガクデン

Bibliographic Information

MEMSのはなし

前田龍太郎編著 ; 池原毅, 小林健, 単学伝著

（Science and technology）

日刊工業新聞社, 2005.1

Title Transcription

MEMS ノ ハナシ

Note

参考文献: 各章末

Description and Table of Contents

Description

ＭＥＭＳとは関わりが今までなかったが、これからこの分野に参入したい企業の方や学生の方のために著したのが本書である。本書では、ＭＥＭＳの製造方法、様々な応用と動作原理、そしてその設計手法について概説する。ＭＥＭＳ技術に興味を持つ方、特に他分野からＭＥＭＳ技術の応用を目指している技術者・研究者を想定して、できるだけ平易で実用的な内容とした。

Table of Contents

• １章　身近で活躍するＭＥＭＳ
• ２章　ＭＥＭＳの製造方法
• ３章　ＭＥＭＳのパッケージング
• ４章　ＭＥＭＳ製造のキーポイント
• ５章　ＭＥＭＳにおける微細成形技術
• ６章　ＭＥＭＳセンサ
• ７章　ＭＥＭＳアクチュエータ
• ８章　ＭＥＭＳ設計・シミュレーションの実際
• ９章　フォトマスクの書き方

by "BOOK database"

Details

• NCID: BA70852993
• ISBN:
  • 4526054046
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: vi, 126p
• Size: 19cm
• Classification:
  • NDC8 : 530
  • NDC9 : 530
• Subject Headings:
  • BSH : マイクロマシン
• Parent Bibliography ID:
  • BN00032079