ナノテクノロジーと超精密位置決め技術
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書誌事項
ナノテクノロジーと超精密位置決め技術
工業調査会, 2005.2
- タイトル別名
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Ultraprecision positioning
ナノテクノロジーと超精密位置決め技術
- タイトル読み
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ナノテクノロジー ト チョウセイミツ イチ ギメ ギジュツ
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注記
参考文献: 各章末
内容説明・目次
内容説明
ナノテクノロジーを支援する、超精密位置決めの最新技術動向＆事例研究。分解能０．２ナノメートルの超精密位置決め装置を実現した著者が、高精度、高速度、コストダウンの各視点から徹底解説。
目次
- 第１章 超精密技術ナノテクノロジー（精密と超精密；アメリカの動き；日本の動き；「ナノテクノロジー」の由来；アメリカ流ナノテクノロジー；「精密位置決め」と「超精密位置決め」の認識値の変遷）
- 第２章 高精度化（誤差、精度、分解能の定義；位置決めの３方式；高精度化と高分解能化；粗微動方式；高精度化事例）
- 第３章 高速化（高速化の手段；振動対策；リニアモータの適否—特にボールねじと比較して；パラレルメカニズムについて；高速化事例）
- 第４章 技術革新とコストダウン（パレート線図による分析；コストダウンの方法；Ｃ（コスト：価格）を下げる方法；Ｆ（Ｆｕｎｃｔｉｏｎ：機能）を大きくする方法—リニアモータ駆動非球面加工機）
- 第５章 ナノテクノロジーのための超精密位置決め（Ｘ線顕微鏡の光学素子；ＤＮＡマニピュレータ ほか）
「BOOKデータベース」 より