プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用
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書誌事項
プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用
日刊工業新聞社, 2005.2
- タイトル別名
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Thin films
薄膜の基礎と応用 : プラズマプロセスによる
- タイトル読み
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プラズマ プロセス ニヨル ハクマク ノ キソ ト オウヨウ
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注記
参考文献: 各章末
内容説明・目次
目次
- 第１章 薄膜の研究構造—全体を視る眼を養おう
- 第２章 プラズマプロセスの特異性—診断の木の実
- 第３章 薄膜の形成過程と構造—ガスも積もれば硬くなる
- 第４章 内部応力—ストレスのご利益
- 第５章 薄膜材料の硬さ—硬さの底にあるもの
- 第６章 密着力—引っ掻くことでわかるもの
- 第７章 性能劣化—寿命は速度過程である
- 第８章 複合表面改質—より硬くよりしなやかに
- 第９章 工業的応用—プラズマのご利益
「BOOKデータベース」 より