薄膜製造技術の応用と薄膜評価

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薄膜製造技術の応用と薄膜評価

(トリケップス技術資料集, 第23号)

トリケップス, 1979.11

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ハクマク セイゾウ ギジュツ ノ オウヨウ ト ハクマク ヒョウカ

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Details

  • NCID
    BA72320805
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    345p
  • Size
    26cm
  • Parent Bibliography ID
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