薄膜製造技術の応用と薄膜評価

書誌事項

薄膜製造技術の応用と薄膜評価

(トリケップス技術資料集, 第23号)

トリケップス, 1979.11

タイトル読み

ハクマク セイゾウ ギジュツ ノ オウヨウ ト ハクマク ヒョウカ

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA72320805
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    345p
  • 大きさ
    26cm
  • 親書誌ID
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