CMPの実践的基礎技術

著者

• 渡邉, 純二 ワタナベ, ジュンジ

書誌事項

CMPの実践的基礎技術

渡邉純二著

（Focus Report, 17）

EDリサーチ社, 2004.8

タイトル読み

CMP ノ ジッセンテキ キソ ギジュツ

• NII書誌ID(NCID): BA73591182
• ISBN:
  • 490179034X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 86枚
• 大きさ: 26cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路
  • NDLSH : 研磨法
• 親書誌ID:
  • BA58398391