ナノインプリントの開発と応用

Author(s)

    • 松井, 真二 マツイ,シンジ
    • 古室, 昌徳 コムロ,マサノリ

Bibliographic Information

ナノインプリントの開発と応用

松井真二, 古室昌徳監修

シーエムシー出版, 2005.8

Other Title

Development of nanoimprint and its application

Title Transcription

ナノインプリント ノ カイハツ ト オウヨウ

Available at  / 18 libraries

Note

カバーに「エレクトロニクス材料・技術シリーズ」の表記あり

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 第１章　総説（転写方式；周辺技術　ほか）
  • 第２章　転写方式（熱ナノインプリントの基礎とそのシーズ；室温ナノインプリント技術　ほか）
  • 第３章　装置と関連部材（ナノインプリント装置；モールド　ほか）
  • 第４章　デバイス応用（電子・磁気・光学デバイス；光デバイス　ほか）

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Details

  • NCID
    BA73745264
  • ISBN
    • 4882315254
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    iv, 213p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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