ナノインプリントの開発と応用
著者
書誌事項
ナノインプリントの開発と応用
シーエムシー出版, 2005.8
- タイトル別名
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Development of nanoimprint and its application
- タイトル読み
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ナノインプリント ノ カイハツ ト オウヨウ
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注記
カバーに「エレクトロニクス材料・技術シリーズ」の表記あり
内容説明・目次
目次
- 第1章 総説(転写方式;周辺技術 ほか)
- 第2章 転写方式(熱ナノインプリントの基礎とそのシーズ;室温ナノインプリント技術 ほか)
- 第3章 装置と関連部材(ナノインプリント装置;モールド ほか)
- 第4章 デバイス応用(電子・磁気・光学デバイス;光デバイス ほか)
「BOOKデータベース」 より