センサ・マイクロマシン工学
著者
書誌事項
センサ・マイクロマシン工学
(EE text)
オーム社, 2005.10
- タイトル別名
-
センサマイクロマシン工学
- タイトル読み
-
センサ マイクロマシン コウガク
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注記
参考文献: p199-204
内容説明・目次
目次
- 1章 本書の構成と使い方
- 2章 センサ・マイクロマシンの概要
- 3章 微細構造製作プロセス技術
- 4章 物理センサ
- 5章 マイクロアクチュエータとマイクロマシン
- 6章 化学センサとマイクロ化学システム
「BOOKデータベース」 より