機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理
著者
書誌事項
機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理
共立出版, 2005.10
- タイトル別名
-
機械材料系のためのマイクロナノ加工の原理
マイクロ・ナノ加工の原理 : 機械・材料系のための
- タイトル読み
-
キカイ ザイリョウケイ ノ タメ ノ マイクロ ナノ カコウ ノ ゲンリ
大学図書館所蔵 全116件
  青森
  岩手
  宮城
  秋田
  山形
  福島
  茨城
  栃木
  群馬
  埼玉
  千葉
  東京
  神奈川
  新潟
  富山
  石川
  福井
  山梨
  長野
  岐阜
  静岡
  愛知
  三重
  滋賀
  京都
  大阪
  兵庫
  奈良
  和歌山
  鳥取
  島根
  岡山
  広島
  山口
  徳島
  香川
  愛媛
  高知
  福岡
  佐賀
  長崎
  熊本
  大分
  宮崎
  鹿児島
  沖縄
  韓国
  中国
  タイ
  イギリス
  ドイツ
  スイス
  フランス
  ベルギー
  オランダ
  スウェーデン
  ノルウェー
  アメリカ
この図書・雑誌をさがす
注記
参考文献: p[213]
内容説明・目次
目次
- 第1章 導入
- 第2章 真空と気体分子運動論
- 第3章 プラズマの基礎
- 第4章 物理蒸着法(PVD)
- 第5章 薄膜の形成過程
- 第6章 エッチング
- 第7章 フォトリソグラフィ
- 付録A 基礎定数表と真空の単位
- 付録B 材料の科学についてのノート
- 付録C 分布関数とマックスウェル—ボルツマン分布
- 付録D 対数目盛と対数グラフ
「BOOKデータベース」 より