シリコンクラスターの表面反応と薄膜成長過程の分子シミュレーション
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書誌事項
シリコンクラスターの表面反応と薄膜成長過程の分子シミュレーション
丸山茂夫, 2003.5
- タイトル別名
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平成12年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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シリコンクラスター ノ ヒョウメン ハンノウ ト ハクマク セイチョウ カテイ ノ ブンシ シミュレーション
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注記
平成12年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
研究分担者: 松本洋一郎, 井上満
課題番号: 12450082