陽電子ビームによるイオンビーム照射下欠陥解析法の開発

著者

• 伊藤, 泰男 イトウ, ヤスオ
• 柴田, 裕実 シバタ, ヒロミ
• 岩井, 岳夫 イワイ, タケオ

書誌事項

陽電子ビームによるイオンビーム照射下欠陥解析法の開発

研究代表者 伊藤泰男

伊藤泰男, 2003.3

タイトル別名

平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書

タイトル読み

ヨウデンシ ビーム ニ ヨル イオン ビーム ショウシャカ ケッカン カイセキホウ ノ カイハツ

注記

平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書

研究協力者: 柴田裕実, 岩井岳夫

課題番号: 13480141

• NII書誌ID(NCID): BA74504059
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 75p
• 大きさ: 30cm