面積選択MOVPEによる結晶成長制御手法の確立とモノリシック光集積回路作製への応用

著者

• 霜垣, 幸浩 シモガキ, ユキヒロ
• 中野, 義昭 ナカノ, ヨシアキ

書誌事項

面積選択MOVPEによる結晶成長制御手法の確立とモノリシック光集積回路作製への応用

研究代表者 霜垣幸浩

霜垣幸浩, 2003.3

タイトル別名

平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

メンセキ センタク MOVPE ニ ヨル ケッショウ セイチョウ セイギョ シュホウ ノカクリツ ト モノリシック ヒカリ シュウセキ カイロ サクセイ エノ オウヨウ

注記

平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

研究分担者: 中野義昭

課題番号: 11555002

• NII書誌ID(NCID): BA74619050
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm