Scientific wet process technology for innovative LSI/FPD manufacturing

著者

• 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ

書誌事項

Scientific wet process technology for innovative LSI/FPD manufacturing

edited by Tadahiro Ohmi

CRC, Taylor & Francis, 2006

• : hardcover

注記

"A CRC Press book"--Back cover

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA75360475
• ISBN:
  • 0849335434
• LCCN: 2005024414
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton, Fla.
• ページ数/冊数: 386 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC22 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Design and construction
  • LCSH : Semiconductors -- Cleaning
  • LCSH : Integrated circuits -- Design and construction