高性能アモルファスシリコンカーバイド(SiC)の超高速成膜に関する研究

著者

• 芳井, 熊安 ヨシイ, クマヤス

書誌事項

高性能アモルファスシリコンカーバイド(SiC)の超高速成膜に関する研究

研究代表者 芳井熊安

[芳井熊安], 2004.5

タイトル別名

平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

コウセイノウ アモルファス シリコン カーバイド SiC ノ チョウコウソク セイマク ニ カンスル ケンキュウ

注記

課題番号:13450058

参考文献: p19-21

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA75610481
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 21p
• 大きさ: 30cm