極低エネルギー電子による水素終端シリコン基板の表面修飾

著者

• 尾浦, 憲治郎 オウラ, ケンジロウ

書誌事項

極低エネルギー電子による水素終端シリコン基板の表面修飾

研究代表者 尾浦憲治郎

[尾浦憲治郎], 1999.3

タイトル別名

平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ゴクテイエネルギー デンシ ニヨル スイソ シュウタン シリコン キバン ノ ヒョウメン シュウショク

注記

課題番号: 09450017

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA75914475
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 115p
• 大きさ: 30cm