動的ぬれモデルに基づく微細電子材料におけるぬれ性評価
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書誌事項
動的ぬれモデルに基づく微細電子材料におけるぬれ性評価
[安田清和], 2001.4
- タイトル別名
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平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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ドウテキ ヌレ モデル ニ モトズク ビサイ デンシ ザイリョウ ニ オケル ヌレセイ ヒョウカ
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注記
研究課題番号: 11650744
参考文献あり