バルク単結晶の最新技術と応用開発
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バルク単結晶の最新技術と応用開発
シーエムシー出版, 2006.3
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Advanced growth technology and application of bulk single crystal
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バルク タンケッショウ ノ サイシン ギジュツ ト オウヨウ カイハツ
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Description and Table of Contents
Table of Contents
- 単結晶材料の最新の動向
- 単結晶材料の最新動向編（シリコン単結晶応用；化合物半導体単結晶材料 ほか）
- 単結晶製造技術—量産技術編（引き上げ法；ブリッジマン法 ほか）
- 単結晶製造技術—特殊材料の製造技術編（ベルヌーイ法（Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２）；赤外線加熱ＦＺ法（ＴｉＯ２） ほか）
- 単結晶製造技術—最近注目されている結晶技術編（二重るつぼチョクラルスキー法；雰囲気制御フッ化物結晶引き上げ法 ほか）
- バルク単結晶周辺材料装置・技術の動向編（一方向凝固法共晶結晶；結晶成長シミュレーション技術 ほか）
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