創立20周年・社団法人化10周年記念誌 : 創造の20年/先端技術への挑戦

著者

• 日本半導体製造装置協会 ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ

書誌事項

創立20周年・社団法人化10周年記念誌 : 創造の20年/先端技術への挑戦

SEAJ創立20周年記念事業推進特別委員会編集・制作

日本半導体製造装置協会, 2005.9

タイトル別名

創立20周年社団法人化10周年記念誌 : 創造の20年先端技術への挑戦

タイトル読み

ソウリツ 20シュウネン シャダン ホウジンカ 10シュウネン キネンシ : ソウゾウ ノ 20ネン センタン ギジュツ エノ チョウセン

注記

装置の歴史: p54-61

参考文献: p126

SEAJの沿革: p129

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA76544611
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 135p
• 大きさ: 31cm
• 付属資料: CD-ROM1枚
• 分類:
  • NDC9 : 549.06
  • NDLC : YU7
  • NDLC : D3
  • NDLC : DL475
• 件名:
  • NDLSH : 日本半導体製造装置協会