創立20周年・社団法人化10周年記念誌 : 創造の20年/先端技術への挑戦

書誌事項

創立20周年・社団法人化10周年記念誌 : 創造の20年/先端技術への挑戦

SEAJ創立20周年記念事業推進特別委員会編集・制作

日本半導体製造装置協会, 2005.9

タイトル別名

創立20周年社団法人化10周年記念誌 : 創造の20年先端技術への挑戦

タイトル読み

ソウリツ 20シュウネン シャダン ホウジンカ 10シュウネン キネンシ : ソウゾウ ノ 20ネン センタン ギジュツ エノ チョウセン

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注記

装置の歴史: p54-61

参考文献: p126

SEAJの沿革: p129

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA76544611
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    135p
  • 大きさ
    31cm
  • 付属資料
    CD-ROM1枚
  • 分類
  • 件名
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