RF MEMS技術の最前線 : ワイヤレス時代のキーテクノロジー
著者
書誌事項
RF MEMS技術の最前線 : ワイヤレス時代のキーテクノロジー
（新材料シリーズ）
シーエムシー出版, 2006.4
- タイトル別名
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Frontier of RF MEMS technology : key technology in wireless age
- タイトル読み
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RF MEMS ギジュツ ノ サイゼンセン : ワイヤレス ジダイ ノ キー テクノロジー
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注記
執筆者: 大和田邦樹, 前田龍太郎, 小林健, 神野伊策, 三原孝士, 鈴木健一郎, 佐野浩二, 曽田真之介, 中谷忠司, 中西淑人, 佐藤良夫, 吉田幸久, 李相錫, 寒川潮, 楢橋祥一, 原晋介, チャントゥアンコク, 中谷勇太, 井田一郎, 大石泰之, 中村陽登
内容説明・目次
目次
- １ 総論（ＭＥＭＳ技術の概要；ＲＦ ＭＥＭＳ技術の概要）
- ２ プロセス技術（プロセス基盤技術；ＲＦ ＭＥＭＳのプロセス技術 ほか）
- ３ 設計技術（ＭＥＭＳ構造体の力学的設計技術；ＭＥＭＳ構造体のＲＦ設計技術）
- ４ デバイス技術（単結晶シリコンメンブレン型スイッチ；線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ ほか）
- ５ 応用技術（６０ＧＨｚ帯送・受信フロントエンドモジュール；高効率デュアルバンド増幅器 ほか）
「BOOKデータベース」 より