Electrochemical processes in ULSI and MEMS : proceedings of the international symposium

著者

• Deligianni, H.
• Electrochemical Society. Electrodeposition Division

書誌事項

Electrochemical processes in ULSI and MEMS : proceedings of the international symposium

editors, H. Deligianni ...[et al.] ; sponsoring divisions, Electrodeposition

（Proceedings / [Electrochemical Society], v. 2004-17）

Electrochemical Society, c2005

注記

Includes bibliographical references and indexes

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA77251823
• ISBN:
  • 1566774721
• LCCN: 2005927817
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Pennington, N.J.
• ページ数/冊数: ix, 480 p.
• 大きさ: 24 cm
• 親書誌ID:
  • BA01323290