MEMS技術を用いたプラスチック基板への埋め込み・配線技術の確立

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MEMS技術を用いたプラスチック基板への埋め込み・配線技術の確立

研究代表者 服部励治

（科学研究費補助金(基盤研究A)研究成果報告書, 平成15年度～平成17年度）

[九州大学], 2006.5

Other Title

平成15年度～17年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書

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MEMS ギジュツ オ モチイタ プラスチック キバン エノ ウメコミ ハイセン ギジュツ ノ カクリツ

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課題番号: 15206042

研究分担者: 池田晃裕

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Details

  • NCID
    BA77404582
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [福岡]
  • Pages/Volumes
    v, p5-82
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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