MEMS技術を用いたプラスチック基板への埋め込み・配線技術の確立

著者

• 服部, 励治 ハットリ, レイジ

書誌事項

MEMS技術を用いたプラスチック基板への埋め込み・配線技術の確立

研究代表者 服部励治

（科学研究費補助金(基盤研究A)研究成果報告書, 平成15年度～平成17年度）

[九州大学], 2006.5

タイトル別名

平成15年度～17年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書

タイトル読み

MEMS ギジュツ オ モチイタ プラスチック キバン エノ ウメコミ ハイセン ギジュツ ノ カクリツ

注記

片面印刷

課題番号: 15206042

研究分担者: 池田晃裕

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA77404582
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [福岡]
• ページ数/冊数: v, p5-82
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA31816366