Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製
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Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製
（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成14年度-平成16年度）
[宮崎修一], 2006.3
- タイトル読み
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Ti-Ni ケイジョウ キオク ゴウキン スパッタ ハクマク オ モチイタ キョウリョク ダイヘンイ マイクロ アクチュエータ ノ サクセイ
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課題番号: 14205099