機能性無機膜の製造と応用 Manufacturing & application of functional inorganic films

著者

• 新無機膜研究会 シンムキマク ケンキュウカイ
• 上條, 榮治 カミジョウ, エイジ

書誌事項

機能性無機膜の製造と応用 = Manufacturing & application of functional inorganic films

新無機膜研究会編集 = edited by New Inorganic Films Research Society of Japan

シーエムシー出版, 2006.6

タイトル読み

キノウセイ ムキマク ノ セイゾウ ト オウヨウ

注記

監修: 上條榮治

文献あり

ジャケットに"新材料シリーズ"とあり

内容説明・目次

目次

• 第１章　無機膜の製造プロセス（ＰＶＤ法；ＣＶＤ法　ほか）
• 第２章　無機膜の製造装置技術（最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置；反応性プラズマ蒸着装置　ほか）
• 第３章　無機膜の物性評価技術（薄膜の組成と構造；薄膜の密着力および内部応力　ほか）
• 第４章　無機膜の最新応用技術（工具・金型分野への応用；シリサイド系半導体薄膜の発光／受光デバイスへの応用　ほか）
• 第５章　最新のトピックス（熱線反射膜と製品；プラスチックフィルムのガスバリア膜　ほか）

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BA77670939
• ISBN:
  • 4882315696
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vii, 305p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 501.48
  • NDC9 : 501.48
• 件名:
  • BSH : 非金属材料
  • BSH : 薄膜