ピエゾ薄膜複合によるスマートFMAの試作研究
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書誌事項
ピエゾ薄膜複合によるスマートFMAの試作研究
(科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書, 平成15年度-平成17年度)
鈴森康一, 2006.4
- タイトル別名
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Smart flexible microactuators utilizing piezoelectric film
- タイトル読み
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ピエゾ ハクマク フクゴウ ニ ヨル スマート FMA ノ シサク ケンキュウ
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注記
平成15年-17年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書
課題番号: 15360137
研究分担者: 神田岳文