MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開
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MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開
フロンティア出版, 2006.5
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MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開
Advanced Technologies and Applications of MEMS/NEMS
フロンティアテクノシリーズ
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MEMS/NEMS ノ サイセンタン ギジュツ ト オウヨウ テンカイ
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Note
参考文献: 各章末
ブックジャケットに「フロンティアテクノシリーズ」の表示あり
Description and Table of Contents
Table of Contents
- ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳ技術の最先端の動向
- ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳ技術の特徴
- ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳの製造技術と各種製造装置、材料開発
- ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳの光および無線通信への応用
- ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳのセンサへの応用
- ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳのエネルギーへの応用
- ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳのバイオ・化学への応用
- ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳの加工・試作・ファンドリーサービスの動向
- ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳの技術的・体制的課題
- 海外企業・研究機関のＭＥＭＳ／ＮＥＭＳ技術の動向〔ほか〕
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