反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価

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反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価

研究代表者 坪井望

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成16年度-平成17年度）

[坪井望], 2006.5

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ハンノウセイ スパッタホウ ニヨル トウメイ pガタ ドウデンセイ サンゲン サンカブツ ノ ハクマク サクセイ ト ヒョウカ

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課題番号: 16560270

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Details

  • NCID
    BA7800539X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [新潟]
  • Pages/Volumes
    22, 16p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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