反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価

著者

• 坪井, 望 ツボイ, ノゾム

書誌事項

反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価

研究代表者 坪井望

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成16年度-平成17年度）

[坪井望], 2006.5

タイトル読み

ハンノウセイ スパッタホウ ニヨル トウメイ pガタ ドウデンセイ サンゲン サンカブツ ノ ハクマク サクセイ ト ヒョウカ

注記

課題番号: 16560270

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA7800539X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [新潟]
• ページ数/冊数: 22, 16p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30764121