極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化

著者

• 三間, 圀興 ミマ, クニオキ

書誌事項

極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化

三間圀興 [編]

（文部科学省リーディング・プロジェクト）

大阪大学レーザーエネルギー学研究センター, 2006.3-

• 平成17年度研究成果報告書
• 平成18年度研究成果報告書

タイトル別名

極端紫外EUV光源開発等の先進半導体製造技術の実用化

タイトル読み

キョクタン シガイ (EUV) コウゲン カイハツトウ ノ センシン ハンドウタイ セイゾウ ギジュツ ノ ジツヨウカ

注記

文部科学省の委託業務として、大阪大学が実施した平成17-18年度の成果をとりまとめたもの

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA78455363
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [大阪]
• ページ数/冊数: 冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA78455192