半導体製造装置用語辞典

著者

• 日本半導体製造装置協会 ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ

書誌事項

半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編

日刊工業新聞社, 2006.9

第6版

タイトル別名

Terminological dictionary of semiconductor equipment

タイトル読み

ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン

注記

引用文献一覧表: p448

内容説明・目次

目次

• 第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成
• 第２章　設計工程用語
• 第３章　マスク製作工程用語
• 第４章　ウェーハ製造工程用語
• 第５章　ウェーハプロセス工程用語
• 第６章　組立工程用語
• 第７章　検査工程用語
• 第８章　設備・環境工程用語
• 資料

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA78758263
• ISBN:
  • 4526057401
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: x, 564p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体 -- 辞典