クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
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クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
日刊工業新聞社, 2006.10
- Other Title
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Cluster ion beam technology : advanced nano fabrication process
クラスターイオンビーム : 基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
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クラスター イオン ビーム キソ ト オウヨウ : ジセダイ ナノ カコウ プロセス ギジュツ
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Description and Table of Contents
Description
本書は、イオンビーム技術の発展を、その技術的背景もあわせて示しながら、イオンビーム技術に初めて接する初心者にもわかりやすく説明しています。
Table of Contents
- １ イオンビーム技術の概要（イオンの発見；イオンビーム技術の誕生 ほか）
- ２ ガスクラスタービームの発生（ガスクラスタービームの発生の原理；ガスクラスターイオンビーム装置 ほか）
- ３ クラスターイオンビームと固体表面相互作用（クラスターイオンの個体表面衝突現象；ガスクラスターイオンの照射効果の特長 ほか）
- ４ ナノ加工プロセス応用（半導体デバイス応用；磁性・誘電体デバイス応用 ほか）
- ５ 産業用クラスターイオンビーム装置（ガスクラスターイオンビーム装置；デカボランイオン注入装置）
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