クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
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クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
日刊工業新聞社, 2006.10
- Other Title
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Cluster ion beam technology : advanced nano fabrication process
クラスターイオンビーム : 基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
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クラスター イオン ビーム キソ ト オウヨウ : ジセダイ ナノ カコウ プロセス ギジュツ
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Description and Table of Contents
Description
本書は、イオンビーム技術の発展を、その技術的背景もあわせて示しながら、イオンビーム技術に初めて接する初心者にもわかりやすく説明しています。
Table of Contents
- 1 イオンビーム技術の概要(イオンの発見;イオンビーム技術の誕生 ほか)
- 2 ガスクラスタービームの発生(ガスクラスタービームの発生の原理;ガスクラスターイオンビーム装置 ほか)
- 3 クラスターイオンビームと固体表面相互作用(クラスターイオンの個体表面衝突現象;ガスクラスターイオンの照射効果の特長 ほか)
- 4 ナノ加工プロセス応用(半導体デバイス応用;磁性・誘電体デバイス応用 ほか)
- 5 産業用クラスターイオンビーム装置(ガスクラスターイオンビーム装置;デカボランイオン注入装置)
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