クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術

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クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術

山田公編著

日刊工業新聞社, 2006.10

Other Title

Cluster ion beam technology : advanced nano fabrication process

クラスターイオンビーム : 基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術

Title Transcription

クラスター イオン ビーム キソ ト オウヨウ : ジセダイ ナノ カコウ プロセス ギジュツ

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Description and Table of Contents

Description

本書は、イオンビーム技術の発展を、その技術的背景もあわせて示しながら、イオンビーム技術に初めて接する初心者にもわかりやすく説明しています。

Table of Contents

  • 1 イオンビーム技術の概要(イオンの発見;イオンビーム技術の誕生 ほか)
  • 2 ガスクラスタービームの発生(ガスクラスタービームの発生の原理;ガスクラスターイオンビーム装置 ほか)
  • 3 クラスターイオンビームと固体表面相互作用(クラスターイオンの個体表面衝突現象;ガスクラスターイオンの照射効果の特長 ほか)
  • 4 ナノ加工プロセス応用(半導体デバイス応用;磁性・誘電体デバイス応用 ほか)
  • 5 産業用クラスターイオンビーム装置(ガスクラスターイオンビーム装置;デカボランイオン注入装置)

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Details

  • NCID
    BA79102802
  • ISBN
    • 4526057657
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    xi, 223p
  • Size
    21cm
  • Classification
  • Subject Headings
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