オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術

Author(s)

Bibliographic Information

オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術

[金原粲ほか執筆]

技術情報協会, 2006.10

Other Title

オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製制御技術

Title Transcription

オプトエレクトロニクス ブンヤ オ チュウシン トシタ スパッタリングホウ ニヨル ハクマク サクセイ セイギョ ギジュツ

Available at  / 5 libraries

Details

  • NCID
    BA79229100
  • ISBN
    • 4861041252
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    346p
  • Size
    27cm
Page Top