マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出
著者
書誌事項
マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出
[出版者不明], 2006.3
- タイトル別名
-
平成15〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書
- タイトル読み
-
マイクロハタイ ノ ダイメンセキ ホウデン ニヨル ジャイアント プラズマ プロセス ノ ソウシュツ
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注記
課題番号:15204053
研究分担者: 豊田浩孝, 石島達夫, 近藤道雄 [ほか]