複雑な構造を持つ半導体多層薄膜のX線CTR散乱法による解析
著者
書誌事項
複雑な構造を持つ半導体多層薄膜のX線CTR散乱法による解析
[出版者不明], 2006.4
- タイトル別名
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平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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フクザツ ナ コウゾウ オ モツ ハンドウタイ タソウ ウスマク ノ Xセン CTR サンランホウ ニヨル カイセキ
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注記
課題番号:16360006
研究分担者:竹田美和, 大渕博宣