複雑な構造を持つ半導体多層薄膜のX線CTR散乱法による解析

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複雑な構造を持つ半導体多層薄膜のX線CTR散乱法による解析

田淵雅夫 [ほか著]

[出版者不明], 2006.4

Other Title

平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

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フクザツ ナ コウゾウ オ モツ ハンドウタイ タソウ ウスマク ノ Xセン CTR サンランホウ ニヨル カイセキ

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Note

課題番号:16360006

研究分担者:竹田美和, 大渕博宣

Details

  • NCID
    BA8001591X
  • Country Code
    xx
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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