複雑な構造を持つ半導体多層薄膜のX線CTR散乱法による解析

著者

• 田渕, 雅夫 タブチ, マサオ
• 竹田, 美和 タケダ, ヨシカズ
• 大渕, 博宣 オオブチ, ヒロノブ

書誌事項

複雑な構造を持つ半導体多層薄膜のX線CTR散乱法による解析

田淵雅夫 [ほか著]

[出版者不明], 2006.4

タイトル別名

平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

フクザツ ナ コウゾウ オ モツ ハンドウタイ タソウ ウスマク ノ Xセン CTR サンランホウ ニヨル カイセキ

注記

課題番号:16360006

研究分担者:竹田美和, 大渕博宣

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA8001591X
• 出版国コード: xx
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm