光誘起表面反応を併用したCVD法によるダイヤモンド膜の低温形成

著者

• 光田, 好孝 ミツダ, ヨシタカ

書誌事項

光誘起表面反応を併用したCVD法によるダイヤモンド膜の低温形成

研究代表者光田好孝

[光田好孝], 2006.3

タイトル別名

平成13年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)(一般))研究成果報告書

科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)(一般))研究成果報告書

タイトル読み

ヒカリ ユウキ ヒョウメン ハンノウ オ ヘイヨウシタ CVDホウ ニヨル ダイヤモンドマク ノ テイオン ケイセイ

注記

課題番号: 13450291

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA80895278
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 17枚; 30cm