不揮発性メモリの実現に向けた高誘電率キャパシタ材料の低温形成
著者
書誌事項
不揮発性メモリの実現に向けた高誘電率キャパシタ材料の低温形成
[光田好孝], 2006.3
- タイトル別名
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平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)(展開))研究成果報告書
科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)(展開))研究成果報告書
- タイトル読み
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フキハツセイ メモリ ノ ジツゲン ニ ムケタ コウユウデンリツ キャパシタ ザイリョウ ノ テイオン ケイセイ
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注記
課題番号: 13455194
研究分担者: 小田克郎