プローブ不要で高い寸法・位置制御性をもつ一括近接場光ナノ加工法の研究

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プローブ不要で高い寸法・位置制御性をもつ一括近接場光ナノ加工法の研究

研究代表者大津元一

[大津元一], 2006.3

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平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

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プローブ フヨウ デ タカイ スンポウ イチ セイギョセイ オ モツ イッカツ キンセツバコウ ナノ カコウホウ ノ ケンキュウ

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Note

課題番号: 16360028

Details

  • NCID
    BA80918216
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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