プローブ不要で高い寸法・位置制御性をもつ一括近接場光ナノ加工法の研究

著者

• 大津, 元一 オオツ, モトイチ

書誌事項

プローブ不要で高い寸法・位置制御性をもつ一括近接場光ナノ加工法の研究

研究代表者大津元一

[大津元一], 2006.3

タイトル別名

平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

タイトル読み

プローブ フヨウ デ タカイ スンポウ イチ セイギョセイ オ モツ イッカツ キンセツバコウ ナノ カコウホウ ノ ケンキュウ

注記

課題番号: 16360028

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA80918216
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm