半導体のための真空技術入門 : 現場で役立つ基礎と応用
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半導体のための真空技術入門 : 現場で役立つ基礎と応用
工業調査会, 2007.2
- タイトル別名
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Introduction to vacuum technology for semiconductor
真空技術入門 : 半導体のための : 現場で役立つ基礎と応用
- タイトル読み
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ハンドウタイ ノ タメ ノ シンクウ ギジュツ ニュウモン : ゲンバ デ ヤクダツ キソ ト オウヨウ
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注記
参考文献: p213
内容説明・目次
目次
- 1 基礎編(半導体製造装置と真空;真空の理論と計算;真空ポンプとその使い方;真空ゲージとその使い方;ガスシステム・真空部品とその使い方 ほか)
- 2 応用編(サーマル装置とプロセス;プラズマ装置とプロセス;PVD装置とプロセス;CVD装置とプロセス;エッチング装置とプロセス ほか)
「BOOKデータベース」 より