マイクロマシン技術

著者

• 北原, 時雄 キタハラ, トキオ
• 石川, 雄一 イシカワ, ユウイチ

書誌事項

マイクロマシン技術

北原時雄, 石川雄一監修

（CMCテクニカルライブラリー, 250）

シーエムシー出版, 2007.2

普及版

タイトル別名

Technology of micromachine

マイクロマシン技術と応用

タイトル読み

マイクロマシン ギジュツ

注記

初版のタイトル: マイクロマシン技術と応用 (2002年刊)

文献: 節末

内容説明・目次

目次

• 基礎編（マイクロファブリケーション；マイクロ駆動機構（アクチュエータと機構）；マイクロエネルギーデバイス；マイクロメカニカルセンサ）
• 応用編（マイクロ加工表面修飾による新機能発現；マイクロデバイス；トータルマイクロシステム）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA81009967
• ISBN:
  • 9784882319122
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vi, 328p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 530
  • NDC9 : 530
• 件名:
  • BSH : マイクロマシン
• 親書誌ID:
  • BA49949541