プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー
著者
書誌事項
プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー
（CMCテクニカルライブラリー, 252）
シーエムシー出版, 2007.3
普及版
- タイトル別名
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Ion beam and plasma process for nanotechnology
プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
プラズマイオンビームとナノテクノロジー
- タイトル読み
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プラズマ イオン ビーム ト ナノテクノロジー
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注記
初版 (2002年刊) のタイトル: プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
文献あり
内容説明・目次
目次
- 総論 プラズマ・イオンビーム技術の新展開
- 基礎編（プラズマの物理化学；イオンビームの物理化学；プラズマ装置；イオンビーム装置）
- 機能材料応用編（イオン注入による表面機能材料；薄膜誘電体材料；ダイヤモンドおよび関連材料；フラーレン；光機能材料；薄膜積層多層材料）
「BOOKデータベース」 より