フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用
著者
書誌事項
フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用
（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成17年度-18年度）
[九州大学], 2007.3
- タイトル別名
-
平成17～18年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書
- タイトル読み
-
フルオロカーボン プラズマ カリュウ デノ キソウ ブンシ セイチョウ ト ソノ オウヨウ
大学図書館所蔵 件 / 全1件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
課題番号: 17540471