フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用
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書誌事項
フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用
(科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成17年度-18年度)
[九州大学], 2007.3
- タイトル別名
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平成17~18年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書
- タイトル読み
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フルオロカーボン プラズマ カリュウ デノ キソウ ブンシ セイチョウ ト ソノ オウヨウ
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注記
課題番号: 17540471