書誌事項

生産現場・開発現場において役立つ薄膜作製技術

日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会編 ; 草野英二 [ほか] 編集委員

リアライズ理工センター, 2006.11

タイトル別名

薄膜作製技術 : 生産現場・開発現場において役立つ

タイトル読み

セイサン ゲンバ カイハツ ゲンバ ニオイテ ヤクダツ ハクマク サクセイ ギジュツ

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注記

その他の編集委員: 大工原茂樹, 岡田修, 吉野幸夫, 谷典明

奥付の編集: 深水克郎, 植木貴久

文献あり

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA82355078
  • ISBN
    • 4898080782
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    10, 323, 9p
  • 大きさ
    30cm
  • 分類
  • 件名
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