ID:DA15379289
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草野英二著
森北出版 2012.11 第2版
所蔵館85館
日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会編 ; 草野英二 [ほか] 編集委員
リアライズ理工センター 2006.11
所蔵館7館
工業調査会 2006.3 ビギナーズブックス 40
所蔵館75館
