生産現場・開発現場において役立つ薄膜作製技術

著者

• 日本真空協会 ニホン シンクウ キョウカイ
• 草野, 英二 (工学) クサノ, エイジ

書誌事項

生産現場・開発現場において役立つ薄膜作製技術

日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会編 ; 草野英二 [ほか] 編集委員

リアライズ理工センター, 2006.11

タイトル別名

薄膜作製技術 : 生産現場・開発現場において役立つ

タイトル読み

セイサン ゲンバ カイハツ ゲンバ ニオイテ ヤクダツ ハクマク サクセイ ギジュツ

注記

その他の編集委員: 大工原茂樹, 岡田修, 吉野幸夫, 谷典明

奥付の編集: 深水克郎, 植木貴久

文献あり

• NII書誌ID(NCID): BA82355078
• ISBN:
  • 4898080782
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 10, 323, 9p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 薄膜