電子線リソグラフィ教本

Author(s)

• 秋永, 広幸 アキナガ, ヒロユキ
• 横山, 浩 ヨコヤマ, ヒロシ

Bibliographic Information

電子線リソグラフィ教本

秋永広幸編

オーム社, 2007.6

Other Title

Electron beam lithography

Title Transcription

デンシセン リソグラフィ キョウホン

Note

監修: 横山浩

参考文献: p201-203

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１章　電子線リソグラフィ概論
• 第２章　電子線制御技術
• 第３章　電子線描画装置
• 第４章　電子線描画技術
• 第５章　電子線レジスト
• 第６章　電子線リソグラフィプロセス
• 第７章　電子線リソグラフィ技術の活用
• 第８章　電子線描画装置の導入
• 第９章　電子線描画装置の操作方法

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Details

• NCID: BA82476094
• ISBN:
  • 9784274204159
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: xiii, 210p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
• Subject Headings:
  • BSH : リソグラフィー
  • BSH : 電子線