電子線リソグラフィ教本

著者

• 秋永, 広幸 アキナガ, ヒロユキ
• 横山, 浩 ヨコヤマ, ヒロシ

書誌事項

電子線リソグラフィ教本

秋永広幸編

オーム社, 2007.6

タイトル別名

Electron beam lithography

タイトル読み

デンシセン リソグラフィ キョウホン

注記

監修: 横山浩

参考文献: p201-203

内容説明・目次

目次

• 第１章　電子線リソグラフィ概論
• 第２章　電子線制御技術
• 第３章　電子線描画装置
• 第４章　電子線描画技術
• 第５章　電子線レジスト
• 第６章　電子線リソグラフィプロセス
• 第７章　電子線リソグラフィ技術の活用
• 第８章　電子線描画装置の導入
• 第９章　電子線描画装置の操作方法

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA82476094
• ISBN:
  • 9784274204159
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xiii, 210p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
• 件名:
  • BSH : リソグラフィー
  • BSH : 電子線