炭化ケイ素単結晶基板における欠陥形成機構の解明と欠陥密度低減方法の開発

著者

• 黒田, 光太郎 クロダ, コウタロウ

書誌事項

炭化ケイ素単結晶基板における欠陥形成機構の解明と欠陥密度低減方法の開発

黒田光太郎 [ほか著]

[出版者不明], 2007.3

タイトル別名

平成17年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

タイトル読み

タンカ ケイソ タンケッショウ キバン ニオケル ケッカン ケイセイ キコウ ノ カイメイ ト ケッカン ミツド テイゲン ホウホウ ノ カイハツ

注記

研究分担者: 佐々木勝寛

片面印刷

課題番号: 17360338

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA82519674
• 出版国コード: xx
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 49p
• 大きさ: 30cm