ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開

著者

• 秩父, 重英 チチブ, シゲフサ

書誌事項

ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開

秩父重英研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書, 平成16年度-平成18年度）

[秩父重英], 2007.5

タイトル読み

ヘリコンハ レイキ プラズマ スパッタホウ ニヨル サンカブツ ハンドウタイ ユウデンタイ エレクトロニクス ノ テンカイ

注記

研究課題番号: 16360146

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA8264703X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [つくば]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA31388455